某光电器件生产商家因晶圆的清洗工作存在含氨废污水,需水量200吨/天。废污泥中除氟化物外还含带氟化物和轻微血本属,处里等级大。各地释放标准想要氟化物<5mg/L,氟化物<3mg/L。
污废水 营养成分及源头
晶圆除垢生产废水(最主要源):含氟化物200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀加工过程废液:含进样器铜、镍等天价属,pH值上下波动大
CMP磨细废污水:含硅顆粒及化学需氧量
清理工艺技术流程图
选取"化学物质石雕文化沉淀+膜溶合+折点氯化"团体生产技术:
预加工
:添加CaCl2除氟,控住pH在7.5-8.
超滤膜系统
:祛除0.01μm不低于小粒物
反进行渗透溶缩
:将氯离子精提至1000mg/L之内
折点氯化
:小于抑制氯污泥脱水量,将挥发酚生成为惰性气体
正离子更换
:得到保障血本属未达标
后面效用
挥发酚不稳<3mg/L,氟化物<1mg/L
巨资属含水量达不到检测工具限
水造纸废水处理率达75%
污泥干化形成量提高40%