该晶圆手工产出商设在西北东北部,重要产出84英寸半导体材料晶圆,平均加工废水释放口量约800吨。鉴于产出阶段中在使用大量的氢佛酸完成晶圆蚀刻,造成的加工废硫酸铜溶液氟化物浓硫酸浓度万代高达200-300mg/L,远超国内释放口的标准(10mg/L如下)。
化工废水成分表及的来源
废污水重点出于八个原则:
晶圆蚀刻加工过程
:含高氧浓度氟化物(HF)、硝酸铵及少量的巨资属
生物学机械制造打磨抛光(CMP)化工废水
:含纳米技术级硅颗粒剂、巧妙络合剂
机除污污水
:含异丙醇、挥发酚等有机酸物
补救方法流量
主要包括"药剂学凝固+沥青混凝土凝固+程度滤过"三级考试处置程序:
一級加工处理
:污泥脱水氯化钙和氢被氧化钙,造成氟化钙沉定,氟化物除去率达85%
五级工作
:加PAC(配位聚铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),祛除氢氧化铁态环境破坏物
三級治疗
:进行多有机溶剂过滤清洁器和灵活性碳吸附剂,溢水氟化物质量浓度平衡在8mg/L以下的
首要生产设备分为:pH系统的自动调准系统的、斜管滤渣池、板框刮刀离心机(污泥处理脱水等)。
既定使用效果
活动行驶三年期评估数据文件提示:
氟化物平均值有机废气浓度:7.2mg/L(超过政府标准规定)
COD的还原率:92%
废水含水量率:≤65%
年回收并氟化钙副品牌约150吨,控制市场化再生利用