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某中大型半导体行业加工制造制造业中小型企业坐落长角形城市,大部分生产方式方式晶圆和IC芯片。在生产方式方式的时候中,晶圆切和打蜡 价段引起非常多研磨机液化工废水,单日排缩量上涨量约50吨。犹豫化工废底层的水中有高溶度悬浮按钮物、黑色金属正离子及有机会使用剂,真接排缩量上涨会对自然环境容易造成严重性感染,制造业中小型企业急求规划专门除理设施设备。
工业废水成份及源头
精磨液废水处理主耍源头于晶圆制造中的化学上的机械制造打蜡 (CMP)制作工序,主耍破坏物涉及到:
自动隐藏粉末物
:二钝化硅、钝化铝等磨研颗粒物,孔径在0.1-1μm,质量浓度将高达2000mg/L。
金屬阴阳离子
:铜、铁、锌等,出自磨光垫受损及晶圆外面不锈钢层,铜阴离子酸度约50mg/L。
有机化学调用剂
:具有表明活性酶类剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱度性杂质
:pH值浮动大,通畅在2-11中间。
处理加工步骤
针对性废水处置性能特点,利用“预处置+生物化学+角度处置”组和生产工艺:
设定池
:均匀饮用水质供水量,增加酸碱平衡调控pH至碱式盐。
混泥土析出
:添加PAC(汇聚氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),的还原浮动物和胶体溶液,沉降后SS的还原率>90%。
离子液体空气氧化
:按照Fenton化学试剂(H₂O₂+Fe²⁺)溶解生物碳更改剂,COD我们要除率达60%。
生物制品治理
:MBR膜生态学化学物反应器进步骤降解塑料乘余可挥发物,COD降到100mg/L之下。
阳离子交易
:专用工具树酯过滤铜阳离子,有水出铜水分含量<0.5mg/L。
砂滤+生物炭过虑
:确保出水量使水变,完成《废水总合尾气排放规范》(GB8978-1996)4级规范。
最终能够效用
体统作业不稳后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜亚铁离子<0.3mg/L。
回收率达40%,剩于标准摆放物,年降低废水处理方法摆放物1.20万吨。
治理投资成本约15元/吨,远压低服务行业峰值。